特殊ガスは工業ガスの重要な分岐であり、その製造方式、応用分野などは普通の工業ガスと大きな違いがある。特殊ガスの種類は多く、単一品種の生産販売量は小さいが、異なる用途の特殊ガスは純度、不純物含有量、包装貯蔵輸送などに対しても極めて厳しい要求があり、ハイテク、高付加価値のガス製品に属する。特殊ガスは高純度ガス、混合ガス、標準ガス、電子ガス二、医療ガス、レーザーガス、民用ガス、電気光源ガスなどに分けられ、電子半導体、化学工業、医療、環境保護、ハイエンド装備製造などの分野に広く応用されている。

電子ガスとは、電子半導体産業の生産に使用されるべきガスを指す。集積回路、液晶パネル、化合物半導体装置、太陽電池、光ファイバなどの電子工業生産に不可欠な基礎的原材料の一つとして、半導体材料の「食糧」と「源、電子ガスは電子工業の重要な原料であり、特殊ガスの重要な分岐に属する。

電子ガスGases

フッ化メチルCH₃F、四フッ化炭素 CF₄、メチレンジフルオリドCH₂F₂ 、

ヘキヘキサフルオロエタンC₂F₆、フルオロホルムCHF₃ 、 三フッ化塩素ClF₃ 、

ヘキサフルオロ硫黄(VI)SF₆ 、 オクタフルオロシクロブタンC₄F₈、

オクタフルオロプロパンC₃F₈、フッ素窒素混合ガスF₂/N₂、

レアガス He Ne Kr Xe

ウェットケミカルWet  Chemicals

発煙硫酸H₂SO₄、フッ化水素酸HF、アンモニア水NH₄OH、オキシドールH₂O₂、

フッ化アンモニウムNH₄F、銅エッチング液、アルミニウムエッチング液、

BOEエッチング液、TFT現像液やTFTフォトレジスト剥離液など、

23種類のウェットケミカル

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